[< греч. nanos карлик + греч. metreo измерять]
1. Тех.Физ.Совокупность методов измерения объектов, имеющих размеры в нанометрах.
Лаборатория нанометрии и сенсорики. Нанометрия используется при изучении квантовых переходов в полупроводниках. Внедрение нанометрии в производство деталей для реактивных двигателей.