1. Физ.Связанный с эпитаксией, возникающий в результате эпитаксии; являющийся эпитаксией; предназначенный для эпитаксии.
Эпитаксиальные структуры. Эпитаксиальные пленки. Эпитаксиальный слой. Эпитаксиальный арсенид индия — перспективный материал электронной техники. Эпитаксиальный рост кристаллов. Эпитаксиальный процесс. Установки эпитаксиального наращивания. Эпитаксиальные технологии. Эпитаксиальный реактор.